芯恩(青岛)集成电路请求MIM电容器及其制造的进程专利在平等电容要求下占用面积更小有利于进步集成度
来源:BB平台体育    发布时间:2025-01-28 21:19:34
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芯恩(青岛)集成电路请求MIM电容器及其制造办法专利在平等电容要求下占用面积更小有利于进步集成度

  金融界2025年1月28日音讯,国家知识产权局信息数据显现,芯恩(青岛)集成电路有限公司请求一项名为“一种MIM电容器及其制造的进程”的专利,公开号 CN 119361585 A,请求日期为2024年4月。

  专利摘要显现,本发明供给一种MIM电容器及其制造的进程,该办法有以下过程:构成第一层间介质层并构成嵌入其正面的金属中介层;构成掩盖金属中介层的分散阻挡层;构成第二层间介质层并于其间构成电容沟槽;构成MIM电容于电容沟槽中,MIM电容共形掩盖电容沟槽内壁并在电容沟槽中围出一顶部开口的收留空间;构成上极板衔接部与层间衔接部,上极板衔接部坐落收留空间中,层间衔接部贯穿第二层间介质层。本发明经过引进金属中介层来进行下极板金属层的互连,并优化极板结构得到立体的MIM电容,上极板金属层经由大马士革铜互连工艺,终究得到嵌入金属互连层的2.5D立体MIM电容器结构,在平等电容要求下占用面积更小,有利于进步集成度。

  天眼查资料显现,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,坐落青岛市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。经过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外出资了2家企业,参加招投标项目165次,知识产权方面有商标信息15条,专利信息508条,此外企业还具有行政许可55个。

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